全自動研磨/ポリッシャー Qポル 300 BOT

研磨ヘッド

研磨ヘッドはスタックから試料ホルダーをピックアップし、各作業ステーションに移動して各サイクルを適切な順序で実行します。終了後、ヘッドはホルダーをスタックに戻します。2つのヘッドを使用することで、研磨と琢磨を同時に行うことができ、複数の試料ホルダーを準備する際にQpol 300 BOTを最適化します。

サンプルホルダースタック

サンプルホルダーラックシステムは、最大12個のサンプルホルダーを収納できます。機械起動後、サンプルホルダーは自動的に取り出され、加工されます。加工が完了したサンプルホルダーは、研磨面を上に向けて元の位置に戻されます。

ホイルチェンジャー

収納エレベーターには、SiCペーパーなどの使い捨て研磨ディスクを収納する4つのコンパートメントがあります。バキューム交換アームが、あらかじめ選択されたSiCペーパーをつかみ、ホイールの上に置き、バキュジェット・システムが直ちに作動し、ディスクをプレートに自動的に固定されます。研磨が終わると、使用済みの研磨紙は廃棄されます。

温風乾燥

最終洗浄後、プログラム可能な温風ブロワーが、研磨面を上にして試料を乾燥させる。乾燥した試料は試料スタックに収納されます。乾燥時間はプログラム可能です。

高速洗浄ステーション

洗浄ステーションは、サンプルの完全自動洗浄を可能にする。水、空気、アルコールによる多段階洗浄が可能です。洗浄時間と洗浄ステップは、必要に応じて完全に調整可能です。

研磨ステーション

高速研磨ステーションは、研磨砥石を使って試料表面を素早く平坦にします。完全に密閉された砥石は、キャビネット内に再循環クーラントシステムを内蔵しています。SiCとAl2O3の研磨砥石は、ドレッシング深さと間隔を調整できる自動ダイヤモンドドレッシング装置によって平坦に保たれます。

キャリアプレートを接着した標準砥石の摩耗面は30mmです。

ダイヤモンド研磨ディスクの用途には、自由に設定可能な間隔でダイヤモンド表面をドレッシングするために、サンプルホルダー適応のカップホイールが用意されています。

タッチスクリーンコントローラー

どの作業ステーションにもスライド可能な中央パネルで、ドラッグ・アンド・ドロップ式のタッチスクリーン・コントロールによるシンプルな操作。各ステップごとに、作業位置がグラフィカルに表示されます。処理シーケンスをリアルタイムで追うことができます。処理シーケンスは保存でき、プログラムとして呼び出すことができます。そして多数のプログラムを保存し、必要に応じて呼び出すことができます。標準装備として、お客様の施設またはQATMによる遠隔保守・監視のためのLAN接続があります。これにより、故障やエラーの認識・除去、更新や手順のダウンロードが可能になります。

データ転送

QATM中央研究所では、お客様の問題解決策を常に模索しています。特定のサンプルに最適な手順を開発し、データ転送でお送りすることができます。また、取得したデータは社内ネットワークを介して交換することも可能です。これにより、いつでもどこでも手順やパラメーターの再現性と比較が可能になります。