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研削と研磨は試料作製の最終段階です。この段階は、複数の工程に分かれています。先の工程に進むに従って、使用する研磨材の目が細かくなります。そして最終的には、変形や傷のまったくない高反射性の表面に仕上げます。試料の微細構造特性を調べなければならない場合もあります。これには、エッチング工程を適用する方法としない方法がありますが、エッチング工程を経て初めて微細構造のコントラストがわかる場合がよくあります。
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